[SEMICON 日本 2022] 真空平面加熱裝置 – 姬路理化株式會社

姬路理化株式會社 在 SEMICON 日本 2022 處展示了 真空平面加熱裝置。

網站:https://www.himejirika.co.jp/

這次,我想介紹一下這個真空加熱裝置。
在這裡,15個鹵素加熱器可以一個個獨立控制,這個通過抽真空實現均勻加熱。
據說這裡已經申請了專利,不過其中一個特點就是引線在腔體外面。
所以當你用這個的時候,特點是你可以均勻地加熱東西。

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